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對(duì)于5級(jí)(100級(jí))和更嚴(yán)格的潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)中空氣凈化器的配置，應(yīng)根據(jù)潔凈室的總體設(shè)計(jì)方案及采用的凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求配置各類凈化器，如有的集成電路生產(chǎn)采用4級(jí)(0.1um)和更嚴(yán)格要求的潔凈室進(jìn)行新風(fēng)集中處理。此時(shí)，為了嚴(yán)格去除大氣中的微粒和各種污染物，通常在新風(fēng)處理裝置中設(shè)置粗效、中效(中高效)、亞高效甚至高效凈化器和化學(xué)凈化器等；有的集成電路生產(chǎn)用的潔凈室還在生產(chǎn)過(guò)程的某些生產(chǎn)區(qū)、生產(chǎn)工藝或工藝設(shè)備設(shè)微環(huán)境裝置，以確保產(chǎn)品生產(chǎn)所需的空氣潔凈度要求。
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